產品介紹

晶圓清洗機– 977系列

晶圓清洗機是對完成切割程序後的工作物實施清洗作業的設備

 

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977 系列 特點

1. 噴霧清洗
2. 空氣與氮氣分離
3. 氮氣氣壓可調整式
4. 水壓可調整式
5. 使用者友善
6. 有安全機制防護誤觸

可選配或是客製化選項
1.排風扇-抽出過多水氣
2.離子扇-中和電荷以達到防靜電的效果
3.無膠膜切割後清洗
4.可客製化其他客戶需求
5. 另外有 coating/ decoating 選配功能

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